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Forschung plus Produktentwicklung
Strategiepapier für die Einrichtung eines Zentrums für Mikrosystemtechnik (ZEMI) in Berlin-AdlershofVorgestellt auf der PK am 30.9.99 - siehe auch hier Ausgangssituation – Mikrosystemtechnik Die Mikrosystemtechnik muß heute als eine Technologie verstanden werden, die Mikrotechniken benutzt, um Produkte zu miniaturisieren und zusätzliche Funktionen in Geräten zu integrieren. Auf dem Technologiesektor ist Europa, und hier insbesondere Deutschland, die Schweiz und die Niederlande, gemeinsam mit den USA und Japan weltweit führend. Entscheidend für den wirtschaftlichen Erfolg ist aber die Umsetzung des vorhandenen Know-hows in marktfähige Produkte. Hierfür müssen in den nächsten Jahren die notwendigen Bedingungen geschaffen werden. International wird eingeschätzt, daß für daß Jahr 2002 ein Marktvolumen von 40 Mrd. Euro zu erwarten ist. Während der vom 28. bis 29. Juni 1999 in Bonn durchgeführten Tagung "Mikrosystemtechnik – Innovationen für das 21. Jahrhundert" mit dem Untertitel "Förderungsprogramme Mikrosystemtechnik: Fortführung mit neuen Schwerpunkten" betonte die Bundesministerin für Bildung und Forschung, Frau E. Buhlmann, daß die Mikrosystemtechnik (MST) für Deutschland eine entscheidende Bedeutung für zukünftige Produkte besitzt und die Bundesregierung das Förderprogramm Mikrosystemtechnik über das Jahr 1999 hinaus mit erheblichen zusätzlichen Mitteln ausstatten wird. Sie schlußfolgerte weiter, daß die erfolgreiche Entwicklung und Umsetzung hochkomplexer Technologien nicht das Werk einzelner Akteure sein kann, sondern es vielmehr notwendig ist, die kreative Zusammenarbeit von Experten aus den unterschiedlichsten Bereichen zu organisieren. Auch der Regierende Bürgermeister von Berlin, Herr Eberhard Diepgen, legte in der Debatte zum Haushaltsentwurf 1999 am 10. Dezember 1998 dar, daß Berlin auf junge zukunftsträchtige Industriezweige, wie z. B. Mikrosystemtechnik und Mikrotechnik, setzt. Die Stadt bietet sich aufgrund des konzentrierten Potentials von Forschungseinrichtungen und mehreren hundert KMU´s an, zukünftig zum Zentrum der Systemintegration für mikrosystemtechnische Produkte aufgebaut zu werden. Auch Großunternehmen wie z. B. die Siemens AG beweisen, daß Berlin einzigartige Ressourcen für diese Technik besitzt und unterstützen dieses z. B. durch Eröffnung eines sogenannten "Future Lab" im Juni 1999 in Berlin. Vor diesem Hintergrund haben sich die wichtigsten Forschungseinrichtungen Berlins zur Stärkung der Berliner Wirtschaftskraft sowie zur Bündelung der technologischen Ressourcen zur Einrichtung eines Zentrums für Mikrosystemtechnik (ZEMI) in Berlin-Adlershof entschlossen. Diese Einrichtung dient den mittelständischen und kleinen Unternehmen (KMU) als Dienstleister zur Entwicklung, Prototypenherstellung und Kleinserienfertigung von mikrosystemtechnischen Produkten. Forschung ohne eine Produktentwicklung zu stimulieren, soll es in Zukunft in Berlin auf dem Gebiet der MST nicht geben. Aufgrund der breiten Technologiebasis der Mikrosystemtechnik ist insbesondere in folgenden innovationsträchtigen Anwendungsbereichen, die auch vom Berliner Wirtschaftssenator, Herrn Wolfgang Branoner, in Auswertung des RITTS-Programmes vorgeschlagen worden sind, mit einer erheblichen Beschleunigung des Entwicklungs- und Produktionszyklus zur Schaffung neuer Produkte zu rechnen: - Informations- und Kommunikationstechnik, neue Medien Im Gegensatz zu vielen eher grundlagenorientierten Forschungsaktivitäten zielt ZEMI auf die praxisgerechte Nutzung modernster Techniken zur Herstellung miniaturisierter Bauteile, wobei Funktionalität, Fertigungskosten und Marktfähigkeit der Produkte im Vordergrund stehen und nicht die praxisferne Innovation. Durch die Zusammenarbeit mit den KMU´s wird das hohe Wertschöpfungspotential der Mikro- und Feinwerktechnik für Unternehmen aus Berlin und dessen Umgebung eröffnet. ZEMI wird als Servicecenter zusammen mit lokalen Industriepartnern die Entwicklung miniaturisierter Produkte vorantreiben. Durch die Konzentration auf den Einsatz neuester Techniken bündelt und fokussiert es vorhandene Stärken Berliner Einrichtungen und schafft somit hervorragende Randbedingungen für die Entwicklung innovativer Produkte sowie die Gründung und Ansiedlung neuer technologie- und produktionsorientierter Unternehmen. Ausgehend von der Weltsituation und den Bedingungen in Berlin, auch für die Zukunft, wird nachfolgend die Einrichtung des ZEMI in Berlin-Adlershof begründet, Maßnahmen abgeleitet und ein konkreter Entwicklungsplan vorgestellt. Mikrosystemtechnik in der Welt Weltweit wird die Mikrosystemtechnik (MST) als die Schlüsseltechnologie des 21. Jahrhunderts angesehen. Für Forschung und Industrie sowie zahlreiche Anwendungsbranchen bieten Mikrosysteme und deren Komponenten weitreichende Perspektiven und Märkte. Die Mikrosystemtechnik muß heute als eine Technologie verstanden werden, die Mikrotechniken benutzt, um Produkte zu miniaturisieren und zusätzliche Funktionen in Geräten zu integrieren. Sie kann damit auch als innovativer Ansatz zur kompletten Integration komplexer Funktionen mit Hilfe von mikromechanischen, Das Spektrum der MST umfaßt neben der Signalverarbeitung miniaturisierte sensorische und aktorische Komponenten und erschließt damit eine Vielzahl neuer Anwendungen, die rein mikroelektronischen Systemen verschlossen bleiben. Sie nutzt dabei vorzugsweise die aus der Halbleitertechnologie hervorgegangenen Mikrotechniken, erweitert aber das zur Verfügung stehende Material- und Technologiespektrum erheblich. Mit Hilfe der Mikrosystemtechnik ist es möglich, derzeit noch unhandliche, teure und relativ schwierig zu bedienende Geräte in leichte, mobile, zuverlässige, preiswerte und einfacher zu handhabende Produkte umzuwandeln. Darüber hinaus werden in Systeme integrierte Entwicklungsergebnisse der Nano- und Biotechnik das Spektrum technischer Lösungen in naher Zukunft wesentlich erweitern. Hier liegt schwerpunktmäßig die Bedeutung der nationalen und internationalen wissenschaftlichen Aktivitäten. Nach Ansicht international anerkannter Fachleute (insbesondere aus Europa, den USA und Japan) zum Status der Mikrosystemtechnik (MST bzw. MEMS) in Wissenschaft und Wirtschaft, ist eindeutig zu erkennen, daß die MST schon bei zahlreichen Produkten den Forschungs- und Entwicklungsbereich (FuE) hinter sich gelassen und eigene Geschäftsfelder aufgebaut hat. Es ist ein enormer Anstieg der Einsatzbeispiele und -gebiete in allen Marktbereichen zu beobachten. Teilweise wird von jährlichen Steigerungsraten zwischen 20 % und 60 % gesprochen. Schließlich zeigt sich, daß die Weiterentwicklung von MST-Komponenten nur noch dort vorangetrieben wird, wo sich eindeutige Marktzuordnungen treffen lassen. Grundsätzlich steht heute die Optimierung und Anwendungen von Systemen mit ihren marktspezifischen Eigenschaften im Mittelpunkt. Anwendungsbereiche neuartiger MST-Produkte sind heute im wesentlichen in der Verkehrstechnik, der Informations- und Kommunikationstechnik, der Bio- und Medizintechnik, aber auch im Maschinenbau und in der Umwelttechnik zu finden. Typische MST-Produkte, die inzwischen zum täglichen Leben gehören sind z. B.: CD-Laufwerke, Scanner, Farbdrucker, Mobiltelefone, Computer, Airbags, ABS-Bremssysteme, Geräte für die Minimalinvasive Therapie und Chirurgie, Gynoskope, Mikrorelays, Mikropumpen usw.. Aufgrund der vielfältigen Vorteile mikrosystemtechnischer Lösungen, wie kleine Abmessungen, geringes Gewicht und niedrigen Energieverbrauch, hohe Zuverlässigkeit, Multifunktionalität und nicht zuletzt auch niedrige Kosten, wie die genannten Beispiele beweisen, wird weltweit intensiv an der Entwicklung von mikrosystemtechnischen Komponenten und Produkten gearbeitet. Auf dem Technologiesektor ist Europa, und hier insbesondere Deutschland, die Schweiz und die Niederlande, gemeinsam mit den USA und Japan weltweit führend. Entscheidend für den wirtschaftlichen Erfolg ist aber die Umsetzung des vorhandenen Know-hows in marktfähige Produkte. Hier besetzen vor allem die USA und Japan die Felder Computerperipherie, Unterhaltungselektronik und IuK, während im Automobilbereich die Bundesrepublik neben den USA und Japan eine Spitzenposition einnimmt. Hierbei kommt der deutschen Industrie ihre traditionelle Stärke bei der Herstellung und Vermarktung komplexer Systemlösungen zugute. Neben der Großindustrie treiben innovative und flexible kleine und mittlere Unternehmen, die häufig Träger des Schlüssel- Know-hows und des Anwendungswissens sind, die Entwicklung der Mikrosystemtechnik maßgeblich voran. Auch hier verfügt Deutschland über eine hervorragende Ausgangsposition durch den starken Mittelstand. Eine tragende Rolle spielen zudem universitäre und außeruniversitäre Forschungseinrichtungen, die durch eine gezielte Vorlaufforschung den Motor für die Fortentwicklung der Mikrosystemtechnik bilden. Mikrosystemtechnik in Berlin Für eine breitere Durchsetzung der Mikrosystemtechnik in die Praxis muß das Zusammenwirken der Einzelkomponenten und die Gesamtfunktion, also der Systemansatz stärker betont werden. Ein Systemdenken ist von Anfang an notwendig, unterschiedliche Fachrichtungen (synergistic engineering) und mögliche Fertigungsinfrastrukturen (z. B. smart engineering) sind bei der Entwicklung mit einzubeziehen. Jedoch sollte sich jeder Wissenschafts- und Wirtschaftsstandort auf seine Stärken und Potentiale konzentrieren. Für Berlin bietet sich an, als Zentrum der Systemintegration für mikrosystemtechnische Produkte ausgewählter Branchen zu fungieren. Dies gilt insbesondere hinsichtlich - Technologieentwicklung und Materialauswahl für Mikrotechniken, Die Bundeshauptstadt Berlin besitzt unter Zusammenfassung aller Bedingungen hervorragende Voraussetzungen und Kompetenzen zur Entwicklung und Fertigung von Mikrosystemen. Diese Aussage basiert auf folgenden Fakten: - ca. 400 Firmen mit ca. 13.000 Mitarbeitern entwickeln und fertigen mikrosystemtechnische Komponenten und Produkte, die Mikrosysteme verwenden. - 24 Forschungseinrichtungen mit 1.180 Mitarbeitern untersuchen und entwickeln mikrosystemtechnische Komponenten, Verfahren, Werkstoffe und Produkte. - Berlin verfügt über sehr gute kooperative Verbindungen, Erfahrungen und Voraussetzungen für die Entwicklung, Fertigung und Anwendung von MST-Produkten in den Branchen: Informations- und Kommunikationstechnik - In Berlin sind zahlreiche Hightech-Firmen angesiedelt. - Berlin hat eine exzellente Aus- und Weiterbildung im Fachgebiet Mikrosystemtechnik an Universitäten und Fachhochschulen (z. B. TU Berlin, FHTW Berlin). Forschungseinrichtungen Berlins (z. B. TU Berlin, Fraunhofer Institute, FBH, BAM usw.) beteiligen sich im Rahmen der MST intensiv und erfolgreich an Förderprogrammen des Bundes und der EU. Der Senat unterstützt die Berliner Forschungseinrichtungen und Unternehmen bei der Entwicklung, Fertigung und Anwendung von MST-Produkten durch: - Förderprogramme zur Erhöhung der Attraktivität des Standortes Berlin, z. B. das Programm für moderne, zukunftsträchtige Informations- und Kommunikationstechnologien im Land Berlin und das Programm zum Aufbau der Informationsgesellschaft Berlin. - Durchführung Forschungspolitischer Dialoge zur Darstellung der Leistungsfähigkeit und Attraktivität des Standortes Berlin für innovative Zukunftstechnologien. - Einrichtung von Interdisziplinären Forschungsverbünden zur Intensivierung der Zusammenarbeit von Forschungseinrichtungen untereinander und Forschungseinrichtungen mit KMU´s für die Entwicklung marktrelevanter Technologien und Techniken, z. B. IFV "Mikrosystemtechnik" mit wesentlichen Aufgaben wie Schaffung eines Netzwerkes der MST in Berlin, Publikation der Leistungsangebote von Instituten, Unterstützung beim Aufbau von Kooperationen und strategischen Allianzen (Synergieeffekte), Akquisition von Forschungsthemen zwischen KMU´s und KMU mit Instituten. - Beteiligung von Kreditinstituten an der Finanzierung durch Bereitstellung von Risikokapital. Der Sitz der zentralen Vergabestellen von Banken zu Mikrosystemtechnikaktivitäten befindet sich in Berlin (Deutsche Bank AG). Über den IFV "Mikrosystemtechnik" sind die Betriebe und Forschungseinrichtungen vernetzt. Es erfolgt eine Abstimmung zu Forschungsaufgaben, und es werden Forschungsverbünde zwischen KMU und Forschungseinrichtungen organisiert. Am Technologiestandort Berlin-Adlershof haben sich eine große Anzahl kleiner und mittelständischer Unternehmen angesiedelt, die mit erheblichen Engagement die Produktentwicklung und Vermarktung in den Hochtechnologiebereichen Nano-, Mikro- und Feinwerktechnik, Bio- und Medizintechnik, Informations- und Kommunikationstechnik, Lasertechnik usw. vorantreiben. Die dargelegten Fakten belegen, daß es in Berlin hervorragende Voraussetzungen gibt, Systemlösungen und Produkte der Mikrosystemtechnik sowohl durch Forschungseinrichtungen wie auch Unternehmen zu entwickeln und zu fertigen. Dringend notwendig ist dazu der erweiterte Aufbau eines Netzwerkes und eine Koordination der verschiedenen Aktivitäten. Mikrosystemtechnik zukünftig ... in der WeltIn zahlreichen Veröffentlichungen wird regelmäßig betont, daß das zu erwartende Marktvolumen für mikrosystemtechnische Produkte rapide steigen wird. So hat z. B. die NEXUS Task Force Market Analysis for Microsystems in einem Bericht Beispiele für mikrosystemtechnische Produkte vorgestellt, die für das Jahr 2002 ein Marktvolumen von 30 Mrd. Euro für bereits existierende Produkte und zusätzlich von 10 Mrd. Euro für neue Produkte vorausgesagt. Mikrosystemtechnische Produkte, die z. Z. schon am Markt sind oder bis zum Jahr 2002 entwickelt werden, sind: Beschleunigungssensoren, Drucksensoren, Temperatursensoren, Durchflußsensoren, Füllstandsensoren, Chemische Sensoren, Positionssensoren, Mikrowellendetektoren, Tintenstrahldruckköpfe, Mikrofilter (für Flüssigkeiten), Schreib-/Leseköpfe für Magnetplatten, Flache Bildschirme, Komponenten für optische Netzwerke, Zerstäuber, Hörhilfen, Geophone, Gyroskope, Spitzen für Rasterkraftmikroskope, Mikrospektrometer, Mikrorelais, Mikropumpen und –ventile Nach Zusammenfassung zahlreicher Veröffentlichungen kann festgestellt werden, daß durch die zukünftige Entwicklung der Mikrosystemtechnik die Erschließung neuartiger Anwendungen in allen Branchen möglich wird. Allerdings wird dieser Umstand von der hochentwickelten Wirtschaft in Deutschland nicht immer erkannt und in aktives Handeln umgesetzt.
Ausgehend von verschiedenen Themenfeldern zeigt sich, daß inzwischen nicht nur ein "Technologie-Push" die Entwicklung von MST-Produkten vorantreibt, sondern in zunehmendem Maße der "Application-Pull" an Bedeutung gewinnt. Im Wechselspiel beider ermöglicht die Mikrosystemtechnik den Zugang zu neuen Anwendungen. Die Bedeutung der einzelnen Branchen wird in der Welt regional unterschiedlich bewertet, was natürlich aus Sicht der jeweiligen Industrieausrichtung des Landes (Standortbesonderheiten) zu verstehen ist. Jedoch ist überall zu beobachten, daß Industriezweige, in denen die Region eine Vormachtstellung zu besitzen glaubt, sehr stark im Vordergrund der Aktivitäten stehen. In den USA liegt z. B. der Schwerpunkt in der Telekommunikation und bei miniaturisierten optisch-elektronischen Systemen. Aber auch der Automobilbau und die Steuerungs- und Regelungstechnik in Industrieanwendungen sind insbesondere in Europa der Mikrosystemtechnik. Man denkt an die Bereitstellung von Systemen, die branchenübergreifend und universell einsetzbar sind (z. B. drahtlose Übertragungssysteme, medizinische Überwachungssysteme, Systeme für portable Produkte). Einig ist man sich, daß zur weiteren Umsetzung der MST ein sytematischer Aufbau von Fertigungsketten dringend notwendig ist. Der Vorgang von der Bauteilentwicklung bis zur Systemanwendung muß immer mehr beschleunigt werden. In den USA wurde dafür ein Umsetzungsprogramm ins Leben gerufen (MUMPs- multi user fabrication program), mit dem Ziel, standardisiertes Design und standardisierte Fertigung von mikrotechnischen Systemen mit weltweiter Ausstrahlung zu schaffen. Wichtig sind hier insbesondere auch Technologie- und Packaging-Entwicklungen, da diese in der Vergangenheit häufig kaum beachtet wurden. Die Vereinigung IEEE-CPMT hat deshalb ein Technisches Komitee für das MST (MEMS) – Packaging gegründet. Auf technischer Ebene muß eine Konzentration auf die Kernkompetenzen und die Entwicklung von Schlüsselprodukten erfolgen. Die Schaffung einer geeigneten Infrastruktur für einen Markterfolg der Mikrosystemtechnik und das damit verbundene Wirtschaftswachstum im Bereich der Hochtechnologien muß als gemeinsames Interesse von Wirtschaft, Wissenschaft und Politik verstanden werden. Für eine Zielgerichtete Innovationsförderung sind daher die Aufgabenfelder aufzuspüren, deren Bearbeitung für zukünftige Produktentwicklungen in den Unternehmen wichtig sind. Mikrosystemtechnik zukünftig ... in BerlinZiel für die zukünftige MST muß es generell sein, neue Produkte in neue Märkte einzuführen und vorhandene oder neu zu entwickelnde Produkte durch die Integration neuer Komponenten kleiner, billiger, leistungsfähiger und zuverlässiger zu gestalten. Darüber hinaus müssen die örtlichen Besonderheiten und Vorteile berücksichtigt werden. In Berlin sollten diejenigen Branchen eine besondere Aufmerksamkeit erfahren, die neben guten Produktentwicklungs- auch weltweit hervorragende Vermarktungschancen gewährleisten. Mit der Ausrichtung auf Informations- und Kommunikationstechnik, Automobilbau, Maschinen- und Anlagenbau, Gesundheit und Wohnen, Vernetzung und mobile Kommunikation wurden Kerngebiete definiert, die dafür sehr gute Chancen besitzen. Dabei bietet sich für Berlin an, als Zentrum der Systemintegration für mikrosystemtechnische Produkte ausgewählter Branchen zu fungieren. Die Forschungs- und Technologielandschaft Berlins bietet Ressourcen, die sich hervorragend ergänzen und somit an keiner Stelle in Deutschland in dieser Kombination anzutreffen sind. Gute Chancen für die Entwicklung und Herstellung neuer Produkte in Zusammenarbeit mit Unternehmen könnten sich durch einen Zusammenschluß von Berliner Forschungseinrichtungen, wodurch geeignetes Know-how im Bereich verschiedener Fertigungstechnologien zur Verfügung gestellt werden würde, ergeben. Durch die Arbeit des IFV "Mikrosystemtechnik" gibt es dafür in Berlin eine Basis und erste Netzstrukturen. Konsequenzen für Berlin zur Unterstützung der KMU für mikrosystemtechnische Komponenten und Produkte Trotz aller Bemühungen einschließlich der Technologieförderprogramme der Bundesregierung und des Landes bleiben die Forschungs-, Entwicklungs- und Innovationsanstrengungen der Unternehmen auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik in weiten Teilen hinter dem gesamtwirtschaftlich gewünschten Ausmaß zurück. Wesentliche Gründe für Innovationsbarrieren in Unternehmen sind: - Analyse und Bewertung von Anwendungsmöglichkeiten sind größtenteils nicht vorhanden, dadurch ist die Abschätzung des Marktpotentials sehr schwierig und Entwicklungs- und Finanzierungsrisiken sind sehr hoch. Ein Einstieg in die neue Technik wird häufig hinausgeschoben. - Eine hohe Komplexität und damit auch hoher Investitionsbedarf der Produktionslinien führt zwangsläufig zur Zusammenarbeit mit Instituten, Dienstleistern und der Großindustrie, wodurch Alleinstellungsansprüche schwer zu realisieren sind. Darüber hinaus ist es nicht möglich, über derartige Kooperationsvereinbarungen bis zur Kleinserie von Produkten zu kommen. - Mikrosysteme sind bis heute im wesentlichen auf Komponenten und Produkte beschränkt, zu selten existieren Systemkonzeptionen. Zusammengefaßt kann gesagt werden, daß die Mikrosystemtechnik ein Paradebeispiel für Sinn und Zweck interdisziplinären Handelns und Arbeiten ist. Eine Disziplin alleine kann dieses Technologiefeld nicht besetzen, nur in der Zusammenarbeit entsteht der Nutzen, der Erfolg. Aufgrund der hervorragenden Basis von Forschung und Wirtschaft in Berlin für die Anwendung der Mikrosystemtechnik sind konkrete Maßnahmen von der Wirtschaft, Wissenschaft und der Politik notwendig. Auf technischer Ebene muß eine Konzentration auf Kernkompetenzen erfolgen und die Entwicklung von Schlüsselprodukten durchgesetzt werden. Im Detail sollten aus Berliner Sicht in erster Linie folgende Anwendungsbereiche bedient werden: Entwickeln und Fertigen von MST-Produkten zur Verwirklichung der Anforderungen der Informationsgesellschaft in Berlin. Dabei kann die gute Infrastruktur Berlins und ein breiter Anwendungsbereich in den Fachgebieten - Verkehrstechnik (Verkehrsleitsysteme, BVG-Kontrollsysteme), Schaffung verbesserter Voraussetzungen für die Systemintegration mobiler Produkte mit - Entwicklung der Foliendisplaytechnologie für Smart Cards und Smart Card-Weiterentwicklung, Entwicklung von Mikrosystemen für den Einsatz in der Medizin und der Gesundheitsvorsorge, z. B. - Entwicklung miniaturisierter Diagnosesysteme für Endoskopanwendungen (Ultraschall, optische Sensorik), Entwicklung und Verbesserung mikro- und feinwerktechnischer Massenfertigungsverfahren für verschiedenste Branchen wie z. B. - Formenherstellung für Mikrospritzguß, Heißprägen und Feinschneiden; Für eine MST-Produktentwicklung sind vorrangig die Kosten und lange Entwicklungszeiten zu senken. Hierfür ist die Zusammenarbeit mehrerer Institute und Unternehmen so effektiv zu gestalten, daß für ein Produkt zwar unabhängig voneinander, die verschiedenen Technologien zentral zur Nutzung zur Verfügung stehen. Durch Standardisierung, Modularisierung und zusammengefaßte Prozessierung können kostenintensive Prozeßlinien auch mit wechselnden Produkten besser ausgelastet werden und damit die Wirtschaftlichkeit der Produktfertigung verbessert und mittlere Stückzahlen marktfähig gemacht werden. Insbesondere mittels Simulationstechniken und CAD-Werkzeugen, Packagingtechniken, Prozeßautomatisierungen, Testverfahren und Qualitätssicherungsmethoden müssen Prototypenentwicklungen und Kleinserienfertigungen von Mikrosystemprodukten betreut werden. Unterstützungen sind auch für den Markteinstieg notwendig. Hier zu Teil 2 des Papiers
Geschäftsstelle des IFV Mikrosystemtechnik Berlin
Sprecher: Prof. H. Reichl
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InnovationsTage'99 (4)
BerliNews 03. 7 99
BerliNews, 24. 6. 98 info@polis Nr. 23: info@polis Nr. 56: Tagung "Mikrosystemtechnik – Innovationen für das 21. Jahrhundert" Mikrosysteme im 21. Jahrhundert: Kostengünstig produziert und flexibel einsetzbar Programm zum Download: Eröffnungsrede der Bundesministerin
Reden zum Download:
Forschungsschwerpunkt Technologien der Mikroperipherik Berichte in BerliNews zur Mikrosystemtechnik (Übersicht Fireball)
WN-956a
Autor: Manfred Ronzheimer
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